光纖光譜儀,等離子體監控系統

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石墨烯納米材料
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PlasCalc系列等離子體監控系統

可在僅3ms內測量200~1100nm波長(cháng)范圍內的等離子體的發(fā)射。PlasCals測量系統為數據的獲取提供過(guò)程控制和精密的數據運算。

  • 1.0nm(FWHM)光學(xué)解析度
  • 200~1100nm波長(cháng)范圍
  • 快速建立和保存實(shí)驗方法

查看通用的等離子體測量系統USB4000光譜儀

編輯工具

編輯工具可以使用戶(hù)簡(jiǎn)單、快速地設置、建立和保存實(shí)驗方法。利用該工具可以對多數復雜的等離子體過(guò)程建立簡(jiǎn)便而有效的步驟設置:例如測量薄膜沉積情況、監測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監測反常的污染和排放現象等。

用于簡(jiǎn)單的等離子體診斷的多重工具

PlasCalc等離子體監控系統配有操作軟件,所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數學(xué)和算法功能。我們同時(shí)提供一個(gè)可選配的放射波長(cháng)數據庫,可以另外單獨購買(mǎi),它能夠提供種類(lèi)的鑒定;而波長(cháng)編輯器則使用戶(hù)完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個(gè)窗口,可以同時(shí)顯示真實(shí)的光譜和所有控制過(guò)程信息。

SPECIFICATIONS

Spectral range:

200-1100 nm

Optical resolution:

1.0 nm (FWHM)

D/A converter:

14 bit

Digital Input/Output:

8 x TTL

Analog Output:

4 x [0-10V]

Interface:

USB 1.1

Power consumption:

12 VDC @ 1.25 A

Power requirements:

90-240 VAC 50/60 Hz

Dimensions:

257 mm x 152 mm x 263 mm

Weight:

5 kg

 


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